感耦等離子體原子發射光譜分析是以射頻發生器提供的高頻能量加到感應耦合線圈上，并將等離子炬管置于該線圈中心，因而在炬管中產生高頻電磁場，用微電火花引燃，使通入炬管中的氬氣電離，產生電子和離子而導電，導電的氣體受高頻電磁場作用，形成與耦合線圈同心的渦流區，強大的電流產生的高熱，從而形成火炬形狀的并可以自持的等離子體，由于高頻電流的趨膚效應及內管載氣的作用，使等離子體呈環狀結構。

　　樣品由載氣(氬)帶入霧化系統進行霧化后，以氣溶膠形式進入等離子體的軸向通道，在高溫和惰性氣氛中被充分蒸發、原子化、電離和激發，發射出所含元素的特征譜線。根據特征譜線的存在與否，鑒別樣品中是否含有某種元素(定性分析)；根據特征譜線強度確定樣品中相應元素的含量(定量分析)。

　　電感耦合等離子體(ICP)是目前用于原子發射光譜的主要光源。ICP具有環形結構、溫度高、電子密度高、惰性氣氛等特點，用它做激發光源具有檢出限低、線性范圍廣、電離和化學干擾少、準確度和精密度高等分析性能。

　　賽默飛ICP光譜儀關機的一些要求：

　　1)測試完樣品用5%稀硝酸清洗霧化室5分鐘，再用去離子水清洗霧化室5分鐘后熄火；

　　2)排除甭管內的水，關閉泵，放松蠕動泵管；

　　3)關閉軟件、電腦顯示屏、主機及打印機；

　　4)關閉測試用氣體(氬氣和氮氣)，氮氣主要用來測試非金屬元素磷和硫用到；

　　5)關閉抽風系統(風機在外面)，同時把排風罩放到儀器上面，防止下雨進水到管道，然后進入機器內部，這款儀器是水平的，不容易灌水，看到其他垂直放置的有灌水進去過。同時外面的灰塵也不容易通過管道進去儀器內。所以換是取下來比較好；

　　6)關閉循環水；關閉穩壓電源(這個電工沒處置好，電線有點亂)；8)關閉儀器電源開關及總電源。